
激光实验平台配置可根据具体需求有所不同,除了激光器和控制系统外,主要还有高精密工作台,执行单元可采用高精密的直驱电机,大理石底座提供稳定可靠的基础。XY轴十字叠层三片式结构,带旋转功能。底轴宽度约是上轴长度的2/3,可防止重心不稳定。配备自润滑的精密滚柱导轨,具有精度高、刚性好等特点。R轴转台结构扁平薄,可360度旋转用于角度调整。
重复定位精度:±1μm
定位精度:3μm
有效行程:100 - 350mm
最高速度:300mm/s
直线度:6μm / 500mm
最大负载:10kg
Tips:丝杆直线模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度,详情参数及选型建议咨询业务人员。
激光实验平台属于高精密运动平台,通常用作高精密激光雕刻、切割等生产制造,根据用户需求配置大有不同,通常使用大理石框架和直驱电机,配合光栅尺精密反馈,更多激光实验平台方案请咨询。
高精度的直驱结构;
中型宽度,高刚度设计;
光栅尺闭环反馈;
R轴角度定位;
定制高加速度;
可选配防尘罩装置。
| 规格 轴向 | X轴 | Y轴 | R轴 |
| 重复定位精度 | ±1μm | ±1μm | ±5 arc sec |
| 定位精度 | 3μm | 3μm | 30 arc sec |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm | - |
| 最高速度 | 300mm/s | - | |
| 直线度 | 6μm / 500mm | - | |
| 行走平面度 | 000级 | - | |
| 加速度 | 0.5G | - | |
| 最大负载 | 10kg | - | |
| 光栅尺分辨率 | 0.1μm | - | |
注意:以上参数仅做为选型参数使用,最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。
本文关键词: 精密运动平台