XY气浮运动平台

• 一般环境使用,无尘环境使用

• 一款XY平面式气浮平台，双驱横梁均采用空气导轨的 H 桥式结构。采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能。可以根据客户需求配置、行程、负载、特殊结构等进行评估定制。用于不同尺寸和工艺的晶圆检测及其他高精密检测应用场景。

• 产品参数

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.3μm
  双向重复定位精度：±0.1μm
  最高速度：1000mm/s
  直线度：2μm / 300mm
  平面度：000级
  最大水平负载：50kg

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。