三轴精密运动平台

• 一般环境使用,无尘环境使用

• 一款三轴精密大理石运动平台，XY轴采用十字叠层结构，可选配R轴用于角度调整，配备高性能直线电机，满足高精密定位需求；Z轴配备精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好；底座选用高品质大理石，保证运行平面度达到000级，另可选配光栅尺编码反馈，精度更加有保障。用于半导体检测晶圆的调整，光学检测，视觉定位等应用场景

• 产品参数

  XY轴重复定位精度：±2μm
  XY轴定位精度：5μm
  有效行程：300mm
  最高速度：500mm/s
  直线度：6μm/500mm
  最大负载：5kg

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。