XY精密对位平台

• 一般环境使用

• 一款高精密XY位移平台，高运动精度和稳定性。非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置，可选中空设计。采用UP级交叉滚子导轨，具有高负载能力、长使用寿命、使用免保养和高导向精度等多种特点。可配R轴旋转轴，多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光熔覆加工等。

• 产品参数

  单向重复定位精度：0.4μm
  双向重复定位精度：±2μm
  有效行程：102mm × 102mm
  直线度 / 平面度：±2μm
  最小位移：0.4μm

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。