精密运动平台定做厂家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 视觉测试平台

视觉测试平台

  • 一般环境使用,无尘环境使用
  • 视觉测试平台,由固定的相机和直线电机运动平台组成,直线电机运动平台使用大理石框架和高精密直线电机组成,位置反馈采用光栅闭环反馈系统,还可采用防尘设计,拥有高刚性,大负载,高精度等优越的性能,多种行程可选择。配备自润滑的精密滚柱导轨,承重大、精度高、刚性好等特点。

  • 产品参数

    重复定位精度:±2μm
    定位精度:5μm
    有效行程:100 - 800mm
    最高速度:500mm/s
    直线度:6μm / 500mm
    最大负载:30kg

    Tips:丝杆直线模组行程超过750mm时,会产生螺杆偏摆,此时请将降低速度,详情参数及选型建议咨询业务人员。

视觉测试平台通常包括两部分,通过直线电机平台改变相机与被测产品的相对位置,来检测同一产品不同的位置。相机通常固定在平台上方且固定不动,而十字平台采用大理石平台,将超高精度导轨安装在大理石上,驱动单元采用直线电机,推力密度大,体积小,能使整个平台高速度,高精度的运行,位置反馈采用光栅闭环反馈系统,确保整个系统安全稳定的运行。


运动平台特点

  • 高精度的直驱结构;

  • 中型宽度尺寸高刚度设计;

  • 精密滚柱直线导轨;

  • 多种行程可选;

  • 光栅尺闭环反馈;

  • 可配置龙门Z轴及旋转R轴。  


运动平台参数

 规格  / 轴向 X轴 / Y轴
重复定位精度±2μm
定位精度5μm
有效行程100 - 800mm
最高速度500mm/s 
直线度6μm / 500mm
平面度000级
最大加速度2G
最大负载30kg
光栅尺分辨率0.5μm

注意:以上参数仅做为选型参数使用,最终参数以出厂产品为准。以上定位精度在实验环境下激光干涉仪补偿后测得。


本文关键词: 直线运动平台

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