三轴大理石运动平台

• 一款直驱三轴精密大理石运动台，XY轴十字叠层三片式结构，配备自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等特点，R轴转台结构扁平薄，可360度旋转，采用光栅闭环反馈和防尘设计。用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等领域。

• 产品参数

  重复定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直线度：6μm / 500mm
  最大负载：10kg

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。