半导体精密运动平台

• 半导体精密运动平台XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，R轴直驱电机驱动可实现360°旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，常用于半导体精密制造及检测。

• 产品参数

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。