半导体精密运动平台

• 半导体精密运动平台XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，R轴直驱电机驱动可实现360°旋转，Z轴布置于平台大理石横梁，常用于半导体精密制造及检测。

• 产品参数

  Tips：丝杆模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度；最高速度是以伺服马达最高转速3000RPM以下为基准；马达加减速设定为0.2s。

• 注意：限于文件大小和数量限制，高清产品手册PDF版及完整的产品3D模型STEP文件，请联系我司业务人员获取，给您带来不便敬请谅解！