公告：
喜报！雷子科技通过“高新技术企业”认定！
语言:
∷ 
∷
精密运动平台定做厂家
代工各类精密直线运动平台、半导体及检测运动平台
公告：
喜报！雷子科技通过“高新技术企业”认定！
∷
代工各类精密直线运动平台、半导体及检测运动平台
应用领域：
一款直驱三轴精密运动台，带旋转功能用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等领域。
结构特点：
XY轴十字叠层三片式结构，底轴宽度约是上轴长度的2/3，移动到极限位置时，防止重心不稳定。配备自润滑的精密滚柱导轨，承重大、精度高、刚性好等特点。R轴转台结构扁平薄，三轴叠层后降低工作点的高度，可360度旋转，用于角度调整，是晶圆切割加工应用的理想选择。
精度性能：
采用光栅闭环反馈，考虑材料的热膨胀影响，加工工艺和装配工艺等，使XY轴重复定位精度≤±0.4μm，全行程直线度±1μm和平面度±1.25μm，R轴微动步距1arc sec。
防尘管理：
精密运动台的防尘设计，有效防止碎片、灰尘和颗粒等异物进入直线台，影响使用寿命，同时不受防尘罩扰动力的影响。
定制化：
根据应用可选择多种行程、定制高加速度提升生产效率等；可配置大理石立柱、横梁、支撑钢架整套系统方案。
本文关键词： 精密运动平台
