xy轴精密定位平台

• 一般环境使用

• xy轴精密大理石直线电机定位平台，采用无铁芯直线电机和SP级交叉滚子导轨，全套雷尼绍光栅，检测精度0.1um，多应用于晶圆检测、电子显微镜平台、LCD封装检测、透镜激光3D熔覆加工等各种高精密制造检测。

• 产品参数

  重复定位精度：±0.001mm
  绝对定位精度：±0.004mm
  XYZ三轴行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
  非标定制产品，配置价格请咨询！
  *绝对定位精度需通过软件修正。

  Tips：丝杆直线模组行程超过750mm时，会产生螺杆偏摆，此时请将降低速度，详情参数及选型建议咨询业务人员。